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來源: | 發布日期:2022-11-25

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靶功率:磁控濺射本身粒子初始動能比較小,離化率低,電源功率越大,濺射出的粒子的初始能量越大,靶材濺射量也越大,沉積速率越快,膜層容易厚度和硬度,同時工件溫升也大,過高的功率會使沉積速率太快,粒子來不及表麵遷移和擴散,易形成陰影效應,膜層會比較疏鬆,應力較大。

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弧靶電流:弧靶電流越大,靶材蒸發量越大,靶麵溫度越高,冷卻效果越差,弧靶產生的液滴大顆粒越多,膜層外觀越差,膜層中的缺陷越多

真空度:真空度是指處於真空狀態下氣體的稀薄程度,用壓強表示,壓強越低,其稀薄程度越大,真空度越高。妖精视频一区二区三区過程中,真空度主要通過控製氬氣流量來改變。氬氣越少,靶材濺射量越少,但真空度越高,氣體分子自由程度越大,散射越少,粒子碰撞幾率越小,粒子遷移過程中損失的動量越少,沉積速率越大

烘烤溫度:真空室抽氣時烘烤有利於真空室和工件解吸已吸附的空氣和水氣,這是保證膜色調純正的重要因素之一。

妖精视频一区二区三区時間:膜層厚度隨妖精视频一区二区三区時間的增加而增加,但不是線形增加,當厚度達到一定的時候,增加速度會變慢最後基本停止,而且妖精视频一区二区三区時間越長膜層應力越大,外觀越差,甚至有可能會崩膜。

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