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來源: | 發布日期:2022-07-27

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第二類,磁控濺射,給靶材施加高電壓(形成等離子狀態),使正荷電氣體離子撞擊靶材、金屬原子飛彈,而在樣品表麵形成金屬皮膜的方法。

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