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來源: | 發布日期:2022-08-01

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物理氣象沉積,是等離子體中的正離子轟擊靶表麵轟擊來的分子/原子濺射到基體表麵,飛行過程中並為發生任何反應。

化學氣象沉積,是等離子體中的正離子轟擊靶表麵轟出來的分子/原子濺射到基體表麵,飛行過程中發生了化學反應。

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